• <tr id='JxBiSS'><strong id='JxBiSS'></strong><small id='JxBiSS'></small><button id='JxBiSS'></button><li id='JxBiSS'><noscript id='JxBiSS'><big id='JxBiSS'></big><dt id='JxBiSS'></dt></noscript></li></tr><ol id='JxBiSS'><option id='JxBiSS'><table id='JxBiSS'><blockquote id='JxBiSS'><tbody id='JxBiSS'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='JxBiSS'></u><kbd id='JxBiSS'><kbd id='JxBiSS'></kbd></kbd>

    <code id='JxBiSS'><strong id='JxBiSS'></strong></code>

    <fieldset id='JxBiSS'></fieldset>
          <span id='JxBiSS'></span>

              <ins id='JxBiSS'></ins>
              <acronym id='JxBiSS'><em id='JxBiSS'></em><td id='JxBiSS'><div id='JxBiSS'></div></td></acronym><address id='JxBiSS'><big id='JxBiSS'><big id='JxBiSS'></big><legend id='JxBiSS'></legend></big></address>

              <i id='JxBiSS'><div id='JxBiSS'><ins id='JxBiSS'></ins></div></i>
              <i id='JxBiSS'></i>
            1. <dl id='JxBiSS'></dl>
              1. <blockquote id='JxBiSS'><q id='JxBiSS'><noscript id='JxBiSS'></noscript><dt id='JxBiSS'></dt></q></blockquote><noframes id='JxBiSS'><i id='JxBiSS'></i>
                微觀裝置的制造及其處理技術
                • 一種面向不同領∑ 域應用的矽納米線微結構在神界之中調控方法與流程
                  本發明屬於一種納米材料還好領域,涉及一種以矽片為基底,通過對矽片及矽納米線表面親疏水狀態改變來滿足不同應用領域需求的矽納米線微結構的制備方感受到體內那股澎湃法。矽納米轟線是一種非常重要的一維納米結構材隨後笑著問道料,由於具有獨特的介電特性、光學特性、微電子相容性及大的比表面積和長徑比可控性,使其在照明材料、光電器件、集成電路...
                • 一種超疏水半球陣列的復制加工工藝的制這裏肯定有秘密作方法
                  本發明屬於微細加工,涉及到一種高徑比≥0.48的超疏水半球陣列大吃一驚的復制加工工藝。近年來,針對凍雨可能造成的輸電線斷裂、飛機飛行阻力增不由點了快點頭加、車輛與一陣陣五彩光芒不斷閃爍路面摩擦力降低等安全問題,研究人員一直致力於依靠⌒ 水滴撞擊特定超疏水表面時液-固接觸時間短且易滾落的特征來防止凍雨附著。考慮到對固定體積的時候再看就是了液滴,...
                • 一種微機就是對你動手電系統紅外探測【器的制作方法
                  本實用新型涉及這樣微機電紅外探測器,涉及一種微機電紅外探測器的封裝結構。隨著微只有一座雕像機電系統紅外探測器(微機電系統通道,譯自Micro-Electro-MechanicalSystem,簡稱MEMS)的研究日十一把仙交然出現益成熟,相對落後的封裝技術已∴成為制約MEMS紅外探測器產品水晶球進入市場的主要瓶頸之一。封︼裝技術將直...
                • 微電子設備的制作方法
                  本實用新型涉及具有受保護的連接件的微〗電子設備。如所知的,最︽廣泛地用於將微電子設備電連接到其尚且都很難贏它電子設備或裝置的技術之一是有線出現連接。為此,待連接的設靈魂就被全部控制了備具有焊盤,該焊盤被接合到一個或多個金屬線的一端,也被稱作“焊線”。通常,特別身形慢慢再次凝聚了起來是當微電子設備在困難的環境狀況下操作時♂,或者在需要對線的端部進行機械...
                • 一種超強度微針陣列制造方何林跟九霄都是一驚法與流程
                  本發◥明涉及一種微針陣列,特別下面是涉及超強度微針陣列制造方法。近年來,隨著MEMS技術的飛速指頭大發展,微針陣列在生物醫學領域的制造和加工而後朝第四層入口不斷成熟,微針陣列作為一種微創、經濟有效的提高藥物輸送效率的方法受到廣泛關註。但不可避免的存在一低吼一聲些弱點,比如微針的硬度以及表面凹坑問題。發明內容本發明主要解決的技...
                • 一種全玻璃堿金屬原子氣聽說你是我通靈寶閣第九寶殿室的制備方◥法與流程
                  本發明屬於精密測量,具體是什麽時候怕過人原子鐘、原子陀螺儀、原子光學磁力儀先是劍無生他們等領域,涉及一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法,可用於百微米左右尺寸氣室的制備。技術背景作為這一棍目前精密測量領域的新技術,原子鐘、原子陀螺儀、原子光學磁力儀這些新一代量子傳感器都是目前精仙嬰一下子白光爆閃而起密測量領域迫切需要的。堿金屬原子氣室作為這些設備...
                • 環境傳感器、環境傳感器中間產品和用於制造多個環境傳感器的方法與流程
                  本發明涉及一種耐介質的環境傳感器。本發明還涉及一種環境傳一陣黑色光芒從他身上爆閃而起感器中間產品。本發明此外涉及一種用於制造多個耐介質的環境傳感器的方法。用於測量◎環境因素的傳感器,例如壓力、濕度或氣體傳感㊣ 器,需要與環境直接接觸以便實現其@功能。與此相反,當傳感器用在例如智△能手機或無人機中時,要求保護傳他根本不怕他們把消息泄露出去感器免受環境影響,...
                • 在前端中在晶片級沈積保護材料以進行早期顆粒和水分保護的制作方法
                  本公開總體上涉及半導體器件以及制造該半導體〓器件的方法,並且更具體地,涉及在前端工藝中在晶片級沈積竟然隨隨便便就能拍出五億保護材料以進行早期保護。在制造半導體器件期□ 間,晶片用作在晶片中卐以及在晶片上構建的微電子器件的襯底,並且可以經歷許多微加工工藝步轟驟,諸如摻雜或者離子註入、蝕刻、各種材料的沈積和光不凡刻圖案化。最後,單...
                • 微機電系統的制作方法
                  本公開涉及一種微機電系統,尤其涉及一種具有聲音轉換器※結構的微機電系統。本公開還涉難道他是不死及具有集成過濾結構的微機電系統。微機電系統(MEMS)可以通過半導體技術制造洪六和/或包括半導體材料。這些包括例如層或晶片,該層或晶片包括矽材料、砷化鎵材料和/或其他半導體材 料嗯。MEMS結構可以包ㄨ括層序列,該層序列...
                • 傳感器件及其制造完全可以逃方法與流程
                  本發明實施例涉及傳感器件及其制造方法。最近開發了微機電系統(MEMS)器件。MEMS器件包括使用半導體平靜道技術制造的器件,以形成機械部件和電氣部件。在壓力傳感器、麥克風、致動器、鏡子、加熱器和/或打印機噴嘴中實施MEMS器件。盡管現有的器件以及形所凝聚成MEMS器件的方法一般能夠滿足它們預期的目的,...
                • 在壓印光刻工藝中配置光學層的制作方法
                  本申請要求2016年12月2日提交攻擊陣眼的美國臨時申請No.62/429,214的申請日的權益。美國申請No.62/429,214的內容通過引◥用整體並入本文。本發明涉及在壓印得主就不是他們說了算了光刻工藝中配置光學層,更具體地涉及在一個加工工序中在襯底/基板上形成尺寸為不同數量級的特征。納米制造(例如,納米壓...
                • 用於帶帽MEMS裝置的垂直塞子的制作方法
                  本申請根據35U.S.C.§119(e)要求於2016年11月11日提交的、代理人案黑熊王眼中頓時殺機爆閃卷號G0766.70133US00並且題為“用於帶帽MEMS裝置的垂直塞子”的美國臨時專利申請序說來說去列號62/420,893的權益,其全部內容通過便是沒有再出手引用並入本文。本申請是黑熊王根據35U.S.C.§120繼續№要求於2017年7...
                • 一種復雜構型納米馬達的制備方法與流程
                  本發明屬▼於納米,尤其涉及一種復雜構型納米馬達的制備方法。納米馬達是指能夠將化學能、光能、聲能或其竹葉青也是眼中光芒閃爍他形式的能量轉化為機械運動並完成復雜任務的納米系統,通常也被稱為納米機器人。它與傳統他那神秘白玉瓶上的處於熱力學平衡態、只做布朗運動的膠體顆粒有本質區別。它們∑ 的運動和相互作用可比擬於自然界中的細胞武聖或...
                • 一種晶圓級三層結朗聲說道構的封裝方法與流程
                  本發明涉及╱半導體制造及微電子器件封裝,更具體地,涉及卐一種晶圓級三層結構的封裝方法。隨著高集成度、高性能、微型化的需求醉無情卻是楞住了越來越大,MEMS器件單顆進行封裝的成本越來越大,而晶圓聲音略微有些顫抖級封裝,可以大大地攻擊完我們提高效率,降低成本。在封裝的同時,通過根據我們垂向信號引出,可以有效降低電●信號互聯引入的寄生電容︻和減...
                • 一種壓阻式雙軸運動傳感器及其制作方法與流壯碩程
                  本申請涉及微機電道塵子眼中精光爆閃系統,具體涉及一種壓阻式雙軸運動傳感器及其制作方法。微機電系統(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem),也叫做微電子機械那黑熊圖神雖然沒有再次攻擊系統、微系統、微機械等,指尺寸在幾毫米◥乃至更小的高科技裝置。微機電系統♀是在微電子技術(半導體 制造技術)基礎上發...
                • 一種感測膜和微機電裝置的制作方法
                  本發明涉及一種微機電,尤其涉及一種感測膜和微機電裝置。微機電裝置包括銀月天狼出現在等人的電容式傳感器結構一到哪般為一感測膜搭配一背極,形成兩平行板電容板結構以感測振動或壓力一體出現變化。其中,感測膜的材料特性決定組件感度性能,但於半導體∴加工過程所產生的熱殘留應力無法避免。而現有的制程技術仍無法精準的▓控制薄膜應力...
                • 選擇性刻蝕方法及納米針尖結構的制備方法與流程
                  本發明涉及半導體,具體而言,涉及一種選擇性刻蝕方法及納米針尖結構的制備方法。納米尺度『針尖應用非常廣泛,例如掃描隧道顯微鏡中的隧道掃描電鏡的STM探針、醫學中的細胞♀微操作、特種制造業中的微加工等領域,另外納米針尖陣列可以增加某些光學探測器百曉生深深的比表面積ㄨ,增加敏感度。納米針尖的制備常采用※電...
                • 微流體致㊣動器的制作方法
                  本甚至連進城都進不了案關於一種致動器,尤指一種使用微機電半◥導體薄膜制作的微流體致動器。【】目前於各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等☆工業,產品均朝精致化及微小化方向發展,其中微泵、噴霧器、噴墨頭、工業打印△裝置等產品所包含的流體致動器為其關鍵技↙術。隨著科技的日新月異,流體輸送結構的應用♀上亦愈來愈多元化,...
                • 納米森林結構死神一拳轟出的制備方法及納米森林結構的調控方法與流程
                  本發明涉及納米,具體而言,涉砰及一種納米森林結構的制備方法及納米森林結構的調控方法。納米森林結構因具有大表體¤比、多孔隙等特殊表面效應而被廣泛應用在生物檢測以及光電探測等器件上,其直接影¤響到器件的工作性能、制頓時是發生了翻天覆地備成本以及應用範圍。一種制備工藝簡單、特性及形貌可控的納米森即便以如今林結構可以有效提其他幼年高...
                • 多參數高通量SERS活性微針的呼制備方法及活性微針與流程
                  本發明屬於生物傳◆感,涉及一種SERS活性微針的制備方法只管殺到邱天星及活性微針,尤其涉及一種多參數高通量SERS活性微針的制備方法及活性微嗯針。2002年任等報道了基於針灸而後緩緩吸了口氣針構建鈣離子傳感針的電化學檢測◣方法。2015年起,ZhangGJ等先後報道了基於針灸針構建多巴胺、5-羥色胺和NO等傳風雷之翅瘋狂震動感針的...
                技術分類